| Название, авторы | Издание | |
| Исследование технологии глубокого реактивно-ионного травления на установке МВУ ТМ Плазма 06/
О.П. Гущин, А.С. Валеев, А.А. Чамов, Н.Г. Мицын, В.М. Долгополов, В.В. Одиноков, В.Э. Немировский, П.А. Иракин |
Научно-технический и производственный журнал «Наноинженерия» № 10 / 2015 | Скачать PDF |