Осаждение пленок из газовой среды в плазме ВЧ разряда 0 В плазме магнетронного разрядаТермическое испарениеЭлектронно-лучевое испарениеПлазменно-дуговое испарение газовой, из газовой 04.12.2015 left Related Projects Сухая обработка поверхности в плазме ВЧ разряда Нанесение пленок