+7 (495) 229-7501    |    info@niitm.ru    |        |    RUS

Осаждение пленок из газовой среды в плазме ВЧ разряда

Осаждение пленок из газовой среды в плазме ВЧ разряда

В плазме магнетронного разряда
Термическое испарение
Электронно-лучевое испарение
Плазменно-дуговое испарение

04.12.2015