Денис Мантуров осмотрел специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти, и отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180–90 нм.