Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления в вертикальной плоскости.
Технические характеристики:
- Индивидуальная и групповая обработка подложек или пластин на рабочем столе в одном технологическом цикле: 60х48мм, Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм;
- Мультикатодное МРУ с четырьмя мишенями Ø 76мм;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
- Планетарный двухстепенной держатель;
- Предварительный нагрев пластин и их очистка ионным источником;
- Нанесение пленок из одной, двух, трех, четырех мишеней;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 20 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
1. Нажмите кнопку «Свяжитесь с нами». При оформлении заказа заполнить форму. Вписать информацию в поля: ФИО, телефон и e-mail. В поле «Сообщение» можно ввести дополнительно более подробные технические характеристики оборудования. В ближайшее время с Вами свяжется отдел продаж, чтобы уточнить детали заказа.
2. Направить запрос на почту marketing@niitm.ru. Для отправки коммерческого предложения необходимо направить техническое задание в любом удобном формате.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.