МАГНА ТМ 5
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления.
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 5
Технические характеристики:
- Групповая обработка пластин в одном технологическом цикле: Ø 76мм – 15 шт.; Ø 100мм – 9 шт.; Ø 150мм – 3 шт.;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин (Позиция 1);
- Система переноса пластин из шлюзовой камеры в три рабочие позиции (2,3,4) транспортной каруселью;
- Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø100мм (Позиция 3);
- МРУ с мишенью Ø280мм (Позиция 4);
- Предварительный нагрев пластин и их очистка с помощью ионного источника (Позиция 2);
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 20 кВт.
1. Нажмите кнопку «Свяжитесь с нами». При оформлении заказа заполнить форму. Вписать информацию в поля: ФИО, телефон и e-mail. В поле «Сообщение» можно ввести дополнительно более подробные технические характеристики оборудования. В ближайшее время с Вами свяжется отдел продаж, чтобы уточнить детали заказа.
2. Направить запрос на почту marketing@niitm.ru. Для отправки коммерческого предложения необходимо направить техническое задание в любом удобном формате.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.