Фильтр
По популярности (убывание)
По популярности (убывание)
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
В наличии
Атомно-слоевое осаждение свертонких пленок.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
В наличии
Плазмохимическое травление поликристаллического кремния и нитрида кремния (мелкощелевая изоляция в кремнии).
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
В наличии
Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Прецизионная очистка
В наличии
Получение высокочистых хлоридных материалов с чистотой 99,99994 методов периодической
Нестандартное оборудование
—
Да
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Выращивание эпитаксиальных структур
В наличии
Газофазное осаждение из металлоорганических соединений для эпитаксиального роста гетероструктур на основе III-N материалов для силовых приборов и СВЧ транзисторов
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Термическая обработка
В наличии
Газофазное осаждение слоев нитрида и оксида кремния при пониженном давлении.
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
В наличии
Низкотемпературное осаждение диэлектрических слоев оксида или нитрида кремния из газовой фазы на пластинах диаметром до 300 мм.
Диаметр пластин
—
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
FOUP контейнер
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
В наличии
Плазмохимическое травление диэлектрических (SiO₂, Si₃N₄ и другие), металлических (Al, Cr и другие), полупроводниковых и
полимерных слоев на пластинах диаметром до 300 мм.
полимерных слоев на пластинах диаметром до 300 мм.
Диаметр пластин
—
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
FOUP контейнер
Связаться с нами
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
В наличии
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
по запросу
Связаться с нами